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商品情報
ドライルーツ式真空ポンプ
5段式 MCT5-LE
水冷式（ST1+CT4-LE）
インバータ搭載によりメカニカルブースターを 大気圧から起動させ、排気時間の短縮に効果大。
主な用途
真空蒸着。真空炉。シリコン引上炉。
参考データ
- 仕様・特性曲線・外形寸法図[285.KB]
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