5段式MCT5-LE(ST1+CT4-LE)

水冷式

インバータ搭載によりメカニカルブースターを
大気圧から起動させ、排気時間の短縮に効果大。

主な用途

真空蒸着。真空炉。シリコン引上炉。

仕様

  MCT5-600LE MCT5-1200LE
設計排気速度 (m³/H) 595 1235
メカニカルブースター用モーター出力 (kW) 2.2×2P 5.5×2P
真空ポンプ用モーター出力 (kW) 2.2×2P 2.2×2P×2台
吸込口径 (A) 80 100
吐出口径 (A) 25 125
冷却水量 (L/min) 2 4

※上記の組み合わせ以外にも対応できます。お問い合わせください。(防爆使用には対応できません。)

特性曲線

特性曲線

寸法図

MCT5-600LE

MCT5-600LE 寸法図

MCT5-1200LE

MCT5-1200LE 寸法図

標準付属品

ベース、Vプーリ、Vベルト、M型ベルトカバー、排気サイレンサ、冷却水配管、基礎ボルト